Ексимерната лазерна индустрия разчита на литографски газове и газови смеси от Linde повече от 20 години - благодарение на нашето обширно портфолио, възможности за смесване и доказани аналитични технологии

Криогенната кондензация на заредени с ЛОС потоци от отпадъчни газове от химически производствени процеси с CIRRUS може ефективно да кондензира ЛОС и да ги улавя за повторна употреба или по-нататъшна обработка